按照工作原理的區(qū)別對廢氣治理設(shè)備進(jìn)行分類，可大致分為四種：種是廢氣處理吸收設(shè)備。它主要是利用一些不容易進(jìn)行揮發(fā)的溶液對廢氣進(jìn)行吸收并且進(jìn)行分離的工作方法，對于這種設(shè)備可以進(jìn)行回收再利用，所以它具有環(huán)保的功能。第二種是廢氣處理吸附設(shè)備。它主要是利用多孔物質(zhì)對廢氣進(jìn)行吸附并且使其進(jìn)行脫落的過程，它的運(yùn)行過程可以進(jìn)行反復(fù)的操作，所以它的凈化廢氣的效果比較明顯。第三種是廢氣處理氧化催化設(shè)備。這種方法主要采用的是對這些廢氣進(jìn)行氧化還原反應(yīng)，生成水和二氧化碳，臭氧氧化處理工藝屬于此類，其原理是利用臭氧發(fā)生器產(chǎn)生足量的臭氧（氧化性*）注入反應(yīng)室與廢氣分子發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生無害無臭的物質(zhì)排出。第四種是廢氣處理低溫等離子設(shè)備。它主要運(yùn)用的原理是在低溫的環(huán)境下對廢氣進(jìn)行分離的過程。  

    由于廢氣種類不一，一些廢氣還需各種廢氣處理設(shè)備結(jié)合的方式來處理，達(dá)到滿意的排放效果。